Yayın Detayları

Yazar:A.Rastegar, G. Durkaya, A. Cepler, S. Novak
Başlık:Effect of radiation on the defectivity and stability of Ru-capped MoSi multilayerblanks
Kategori:Uluslararası Hakemli Dergi
İndis:Science Citation Index (expanded)
Yayınlandığı Yer:EXTREME ULTRAVIOLET (EUV) LITHOGRAPHY III
Yıl:2012
Sayı:8322, 832211
Sayfalar:
Ev Sahibi Şehir:San Jose, California