Yayın Detayları

Yazar:G. Durkaya, A. Rastegar, H. Kurtuldu
Başlık:Effect of radiation exposure on the surface adhesion of Ru-capped MoSi multilayer blanks
Kategori:Uluslararası Hakemli Dergi
İndis:Science Citation Index
Yayınlandığı Yer:PHOTOMASK TECHNOLOGY 2012
Yıl:2012
Sayı:0277-786X
Sayfalar:
Ev Sahibi Şehir:San Jose, California
URLhttp://dx.doi.org/10.1117/12.976060